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超声波清洗在硅片行业的应用

作者: 来源: 日期:2014/8/17 16:58:07 人气:4089
超声波清洗在硅片行业的应用
  半导体材料的制作过程中,每一个过程包括清洁,清洗直接影响到下一道工序,甚至会影响设备的成品率和可靠性。
  晶片生产的每一个过程的潜在的污染可能会导致产生缺陷和设备故障。因此,超声波清洗机设备的小编表示,硅片的清洗已经引起人士的关注。许多制造商都用手洗,这种方法人为的因素,一方面,容易碎裂,经济衰退,另一方面手洗的晶圆表面清洁度,污染严重,下道工序投掷腐蚀合格率较低。硅片清洗技术已引起人们的重视,找到一个简单而有效的清洗方法是当务之急。介绍了一种超声波清洗技术,超声波清洗机设备的小编表示,晶圆清洗效果显着,是一种值得推广的晶圆清洗技术。
  如颗粒,有机杂质,无机杂质,金属离子,硅粉和灰尘,从而导致研磨后的硅晶片容易产生改变花的头发,蓝色,黑色等,所以研磨失败。硅片清洗的目的是去除各种污染物。
超声波清洗机(单机型)


医用超声波清洗机清洗,牛!
  医用超声波清洗机清洗代替手工人工清洗,还可以达到人工手不能满足要求。甚至蒸汽清洗高压水射流也无法满足小盲孔表面凹凸不平的部分,超声波清洗机设备效果更彻底。
  传统的手工清洗需要将回收器械多酶浸泡、手工刷洗、冲洗或者用毛刷机对一些瓶类进行清洗,可以说费时费力,而且人为因素的影响还无法保证器械清洗质量。

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